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衰減膜
◇測量對紅光高反射率樣品時使用， 放置于透射標(biāo)準(zhǔn)鏡和樣品之間，可 以獲得良好的干涉條紋對比度。
◇通光口徑有101.6mm（4英寸） 和152.4mm（6英寸）。
◇透過波前PV<λ/10@632.8nm。
◇紅光（λ=632.8nm）以10°入射， 衰減膜的透過率為20±4%。
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臥式干涉儀球面測量系統(tǒng)
包含五維調(diào)整架，導(dǎo)軌系統(tǒng)（2根），和光柵尺（測量曲率）。
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五維同軸調(diào)整架
五維調(diào)整架附帶可調(diào)同軸透鏡座，最大夾持Φ160mm。
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五維標(biāo)準(zhǔn)鏡調(diào)整架
用于焦距測量，透過波前和光學(xué)材料均勻性測量時安裝平面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡或球面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡。
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五維調(diào)整架,110mm
附帶可調(diào)同軸透鏡座， 最大夾持Φ110mm
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標(biāo)準(zhǔn)鏡二維調(diào)整架
用于安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡
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平面樣品測試調(diào)整架
用于安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡
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多軸位移臺
用于異形平面元件檢驗(yàn)臺。
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精密組合位移臺
用于異形平面元件檢驗(yàn)臺。
