干涉測量技術
2017-04-03
干涉測量技術是以光波干涉原理為基礎進行測量的一門技術。與一般光學成像測量技術相比,干涉測量具有大量程、高靈敏度、高精度等特點。隨著激光技術的出現及其在干涉測量領域中應用,使干涉測量技術在量程、分辨率、抗干涉能力、測量精度等方面有了顯著的進步。
從光學零件的質量控制到光學系統的象質評價,從經典的光學技術到自適應光學工程,現代干涉測量技術的應用領域不斷擴展。另一方面,現代數字圖像處理技術、傳感器技術和計算機技術使干涉圖像判讀技術實現了計算機實時自動判讀,大大提高了干涉測量的精度和靈敏度
干涉條紋是干涉場中光程差相同點的軌跡。根據干涉條紋的形狀、方向、疏密以及條紋移動等情況,可獲取被測量的有關信息。按光波分光的方法,干涉儀有分振幅式和分波陣面式兩類。按相干光束傳播路徑,干涉儀可分為共程干涉和非共程干涉兩種。
按用途又可將干涉儀分為兩類,一類是通過測量被測面與參考標準波面產生的干涉條紋分布及其變形量,進而求得試樣表面微觀幾何形狀、場密度分布和光學系統波像差等,即所謂靜態干涉;另一類是通過測量干涉場上指定點干涉條紋的移動或光程差的變化量,進而求得試樣的尺寸大小、位移量等,即所謂動態干涉。