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超精密球面反射標準鏡
超精密球面反射標準鏡的表面面形經過精密測量,可以認為是絕對球面,凹凸面均可選擇。 球面反射標準鏡的數據文件儲存為Zygo干涉儀的標準數據格式,在Zygo干涉儀的數據中能夠移 除標準球面的誤差,這樣測試精度能夠達到PV<λ/30@632.8nm,定制產品可達到PV<λ/50@ 632.8nm.
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